发那科(FANUC)系统超程报警大全 510 X轴正向软极限超程。 511 X轴负向软极限超程。 520 Y轴正向软极限超程。 521 Y轴负向软极限超程。 530 Z轴正向软极限超程。 531 Z轴负向软极限超程。